在微电子机械系统(MEMS)中，材料以_____为主。

物联网 2020-07-03 次

　　在微电子机械系统(MEMS)中，材料以_____为主。

　　A) 硅

　　B) 钨

　　C) 铁

　　D) 钼

参考答案：

A

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关键词：微电子机械系统

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